اپتیک سیستم نوری اسکن پویا: 1 عدد لنز فوکوس کوچک، لنز فوکوس 1-2 عدد، آینه گالوو. کل لنز نوری تابعی از گسترش پرتو، تمرکز و انحراف پرتو و اسکن است.
قسمت گسترش دهنده یک لنز منفی است، یعنی لنز فوکوس کوچک، که انبساط پرتو و زوم متحرک را متوجه می شود، لنز فوکوس از گروهی از لنزهای مثبت تشکیل شده است. آینه گالوو در سیستم گالوانومتر آینه است.
(1) بهینه سازی طراحی لنز: نسبت بهینه قطر به نسبت ضخامت
(2) آستانه آسیب زیاد لنز:> 30J/cm2 10ns
(3) پوشش بسیار کم جذب، نرخ جذب: <20ppm
(4) نسبت ضخامت به قطر گالوانومتر: 1:35
(5) دقت سطح لنز:<= λ/5
لنز پست هدف
| حداکثر مردمک ورودی (میلی متر) | اپتیک 1 قطر (میلی متر) | اپتیک 2 قطر (میلی متر) | اپتیک 3 قطر (میلی متر) | فیلد اسکن (میلی متر) | دیافراگم شفاف اسکنر (میلی متر) | طول موج |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6 میلی متر |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 نانومتر |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 نانومتر |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 نانومتر |
آینه بازتابنده
| توضیحات قسمت | قطر (میلی متر) | ضخامت (میلی متر) | مواد | پوشش |
| بازتابنده سیلیکون | 25.4 | 3 | سیلیکون | HR@10.6um,AOI: 45 درجه |
| بازتابنده سیلیکون | 30 | 4 | سیلیکون | HR@10.6um,AOI: 45 درجه |
| بازتابنده فیبر | 25.4 | 6.35 | سیلیس ذوب شده | HR@1030-1090nm، AOI: 45 درجه |
| بازتابنده فیبر | 30 | 5 | سیلیس ذوب شده | HR@1030-1090nm، AOI: 45 درجه |
| بازتابنده فیبر | 50 | 10 | سیلیس ذوب شده | HR@1030-1090nm، AOI: 45 درجه |
| 532 بازتابنده | 25.4 | 6 | سیلیس ذوب شده | HR@515-540nm/532nm، AOI: 45 درجه |
| 532 بازتابنده | 25.4 | 6.35 | سیلیس ذوب شده | HR@515-540nm/532nm، AOI: 45 درجه |
| 532 بازتابنده | 30 | 5 | سیلیس ذوب شده | HR@515-540nm/532nm، AOI: 45 درجه |
| 532 بازتابنده | 50 | 10 | سیلیس ذوب شده | HR@515-540nm/532nm، AOI: 45 درجه |
| 355 بازتابنده | 25.4 | 6 | سیلیس ذوب شده | HR@355nm&433nm، AOI: 45 درجه |
| 355 بازتابنده | 25.4 | 6.35 | سیلیس ذوب شده | HR@355nm&433nm، AOI: 45 درجه |
| 355 بازتابنده | 25.4 | 10 | سیلیس ذوب شده | HR@355nm&433nm، AOI: 45 درجه |
| 355 بازتابنده | 30 | 5 | سیلیس ذوب شده | HR@355nm&433nm، AOI: 45 درجه |
آینه گالوو
| توضیحات قسمت | حداکثر مردمک ورودی (میلی متر) | مواد | پوشش | طول موج |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | سیلیکون | MMR@10.6um | 10.6 میلی متر |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | سیلیس ذوب شده | HR@1030-1090nm | 1030-1090 نانومتر |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | سیلیس ذوب شده | HR@532nm | 532 نانومتر |
| 55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | سیلیس ذوب شده | HR@355nm | 355 نانومتر |
لنز محافظ
| قطر (میلی متر) | ضخامت (میلی متر) | مواد | پوشش |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90*60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
